產品目錄

聯係方式

北京葫芦娃视频下载科技有限公司
聯係人:魯工 王工
手機:13910937780,17600738803
電話:010-69798892
地址:北京市昌平區回龍觀西大街115號龍冠大廈3層
郵編:102208
郵箱:17600738803@163.com
首頁 > 產品展示 > 半導體設備 > 劃片機 > APCO精密劃片機

產品中心

APCO精密劃片機

  • 型   號:
  • 價   格:

日本APCO公司APCO精密劃片機係列,型號包括AMC-7600,7800,8000。適用於TEM(透射電鏡)和SEM(掃描電鏡)等的樣品製備工作,廣泛應用於矽片、光掩膜、液晶顯示器用TFT、石英、集成電路器件等樣品橫斷麵的切割。劃片精度微米,適用於Z大達8英寸,厚度0.6至10毫米樣品,可確保獲得光滑的橫斷麵以便於進一步觀察。具有CPU控製,操作簡便,製備速度快,可以刻劃平坦或彎曲的樣品。

分享到:


APCO精密劃片機簡介

日本APCO公司精密劃片機係列,型號包括AMC-7600,7800,8000。適用於TEM(透射電鏡)和SEM(掃描電鏡)等的樣品製備工作,廣泛應用於矽片、光掩膜、液晶顯示器用TFT、石英、集成電路器件等樣品橫斷麵的切割。劃片精度±15微米,適用於大達8英寸,厚度0.6至10毫米樣品,可確保獲得光滑的橫斷麵以便於進一步觀察。具有CPU控製,操作簡便,製備速度快,可以刻劃平坦或彎曲的樣品。目前,包括東芝、索尼、愛普生、IBM、菲利普、NEC等許多國際半導體製造商都在使用APCO的產品。

APCO AMC-8000:

AMC-8000是AMC-7600、8000的改進型,主要是提高了劃線精度。

光學顯微鏡采用美國著名的NAVITAR公司的伸縮鏡頭顯微鏡,通過CCD攝像機定位。

也可選用伸縮和微聚焦的電機驅動式。、

其他規格與AMC-7600相同。

《AMC-8000簡要規格》

  1. 適用材料:石英、矽片、玻璃、掩膜片、TFT基板、顯象管、等離子體顯示器等

  2. 平麵、曲麵(CRT熒光麵等)均可切劃

  3. 適用材料尺寸:大8"英寸

  4. 劃線精度:±2.5um

  5. 大顯示倍率:約800倍(在20寸CRT上)

  6. 外形尺寸:650W×550D×650H((不含CRT等)

  7. 重量:約78Kg(不含CRT等)

APCO精密劃片機主要特點:

  1. 操作簡單,自動劃線準確,可間隔劃線5處

  2. 平麵、曲麵皆可劃線,切線整齊,獲

  3. 劃刀壓力可自由設定,從2N~60N

  4. 刀片壽命可達1年以上

  5. 帶報警裝置,工作不正常時會報警

  6. 適用於石英、矽片、研磨片、玻璃、TFT基板、顯象管、等離子體顯示器等

APCO AMC-8000參數規格:

1.適用材料尺寸    8英寸    10mmt
       2.工作台移動距離  X=50mm  Y=230mm  θ=360度
       3.劃線精度        ±15um
       4.光學係統        單筒收縮顯微鏡  實體顯微鏡
       5.監測            CCD+14~20英寸彩顯
       6.顯示倍率        22~800倍
APCO AMC-8000切割壓力設定實例:

石英    8.85mmt           約45N
       石英    3.00              約30N
       石英    2.30              約25N
       玻璃    10mm(14"CRT)   約55N
       玻璃    0.8mm             約12N
       Si      0.7mm             約5N
       顯象管  10mm
       矽片(Si、InP)
APCO AMC-8000切成片實例:

6025石英掩膜→6.35mm×約5mm×約5mm
       1.2mmt玻璃  →1.2mm×約5mm×約50mm
       0.7mmt矽片  →0.7mm×約4mm×約4mm
       3mmt InP片  →0.3mm×約0.5mm×約5mm

APCO AMC-8000刀壓設定很容易

刀壓由旋鈕自由設定。對一種試樣,可改變幾次設定值試劃,便可得到合適的刀壓。以合適刀壓劃線後,用附屬的切斷鉗很容易切斷。
APCO AMC-8000劃線設定簡單

隻要將劃線端點對準OM表針中心位置,按壓設定指令按鈕即可,此位置即為劃線起點或終點。
大設定12點(間隔劃線大可設定5點)設定後,裝置即自動劃片。
APCO AMC-8000劃刀壽命長(1年以上)的理由:

  1. 采用超硬刀輪,旋轉劃片,不易磨損。

  2. 超硬刀輪的行走方向由工作台的行走方向調節。

    帶有聲響警告裝置,在下列情況下裝置警告且不工作

  3. 當工作台旋轉鎖定未卡好時;

  4. 設定位置不當時;

  5. 設定次數與要劃線次數不符合時。

    安全保證

漏電切斷,無熔線斷路器。

APCO AMC-8000補充說明:
本機不是大批量生產用的,而是在使用SEM觀察各種半導體矽片、各種玻璃材料等不良部位及試製品合格與否時,為其製作試樣用的機器。使用該機的主要時研究開發部門、品質管理部門、分析/解析部門。
本機的特點及剖麵SEM試樣的加工工藝如下:
一.特點

  1. 製作試樣無需研磨,一般製作試樣時時先將試樣埋入樹脂後,而研磨而製成的,故製作一個試樣需要花幾個小時,本機則隻需要15分鍾左右。

  2. 采用獨特的跳躍間隔劃線方式,不會傷及觀察部分(試樣表麵)。

  3. 使用顯微鏡,能很容易輸入劃線加工部分的坐標位置。

  4. 提高了X軸方向的分辨率,以便能從要觀察的部分切斷。

二.加工工藝過程:

  1. 先在要觀察的微小部位的前後表麵劃線,以便之後切斷。

  2. 用夾鉗夾住試樣,切斷。

三.劃線精度:
AMC-7600     ±15um
AMC-7800     ±15um
AMC-8000     ±2.5um
四.劃線寬度由試樣和劃線加工條件而異,約為數100 um
五.大5點跳躍間隔劃線,如後圖所示,用顯微鏡觀察試樣表麵時,如果觀察部分遭到破壞,便無法觀察,本機可預先設定好劃線坐標位置,自動地跳過要觀察的部位,這樣便不會劃傷要觀察的部位了。而且一次劃線可取得5個要觀察的位置。
但條件是矽片等結晶材料,其觀察部位要沿結晶方向在一條直線上。
六.?劃刀價格:15000-30000日元。(屬日本國內價格,且帶刀架)。
七.劃刀壽命:以加工矽片為例,每年需換2-3次刀。
八.使用方法:

  1. 將劃過線的試樣裝在機子上;

  2. 旋轉衝壓旋鈕輕輕固定;

  3. 將試樣劃線與懸臂前端中心線對齊;

  4. 慢慢旋動衝壓旋鈕,將試樣切斷。


留言框

  • 產品:

  • 您的單位:

  • 您的姓名:

  • 聯係電話:

  • 常用郵箱:

  • 省份:

  • 詳細地址:

  • 補充說明:

  • 驗證碼:

    請輸入計算結果(填寫阿拉伯數字),如:三加四=7
上一篇 : ME-210-T膜厚測量儀    下一篇 :  解膠機NDS308/NDS312
網站首頁 公司簡介 產品中心 招聘中心 技術支持 企業動態 聯係葫芦娃视频下载 管理登陸
北京葫芦娃视频下载科技有限公司專業提供APCO精密劃片機,APCO精密劃片機特點等產品信息,歡迎來電谘詢!
GoogleSitemap ICP備案號:京ICP備16637902號-2 技術支持:
化工儀器網
聯係方式
  • 聯係人:魯工
售前谘詢